富士金株式會社富士金株式會社“Sensient Valve”物聯網閥門

感應閥門的打開和關閉！

傳感器檢測到閥門外部的泄漏。
還可以準確檢測閥門的打開和關閉以及溫度。由于可以

在閥門故障發生之前知道何時更換損壞的部件，因此可以提高設備的長期可靠性。*請聯系我們。

基本信息富士金株式會社“Sensient Valve”物聯網閥門

■用于半導體制造設備的超小型物聯網閥門
通過在超小型隔膜閥上配備小型傳感器，我們
在超小型IGS（集成供氣系統）中實現了物聯網，
從而可以進行精確的開閉檢測。
?耐久性：400萬次（實驗值）
?使用溫度：-10～+80℃
*2022年第19屆超級制造零部件獎機械/機器人零部件獎獲獎產品！

■高耐用性物聯網閥門
通過在高耐用性閥門上安裝傳感器，
可以實現穩定的傳感。
?耐久性：1億次（實驗值）
?使用溫度：-10～+80℃

■高溫/高耐久性物聯網閥門
在高耐久性閥門上安裝了耐高溫傳感器，即使在高溫條件下也
能穩定檢測成為。
?耐久性：3000萬次（實驗值）
?使用溫度：-10～+150℃