日本KISHIYAMA柏山工業株式會社 干式真空泵“SDL系列”

對于硬過程！用于大尺寸晶圓和 FPD 基板的大排量泵

“SDL系列”
是樫山工業的干式真空泵，在半導體和液晶制造等廣泛領域贏得了高度信賴。

對應wafer和FPD的大型化。
通過組合可實現大排量，滿足150,000L/min以上的需求。

此外，通過確保大氣側的排氣速度，
大型負載鎖定室的高速排氣縮短了節拍時間。

溶劑排放規格也可提供，因此請與我們聯系。

[特長]
■硬工序用
■大型晶圓、FPD對應
■節拍時間縮短

*詳情請參考PDF文件或隨時咨詢。

基本信息干式真空泵“SDL系列”

【ラインアップ】
■SDL12E50
■SDL20E50
■SDL36M60
■SDL40E60
■SDL40E201
■SDL40EW201
■SDL80201

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。