分密度計（專用機） FUD-1 Model-13

產品概覽在保持 FUD-1 Model-13 的優點（例如可維護性和高精度在線測量）的同時，該型號具有用于半導體制造過程的小單元型發射器。圖表FUD-1 Model-13　*以下為配置示例單組分密度計的特點可實時測量濃度，易于構建濃度控制系統。標配模擬 DC4 至 20mA 和數字 RS232C標配測量誤差輸出和報警輸出標配自診斷功能和錯誤信息顯示小巧輕便的電池型變送器可直接安裝在線路上接液部分材

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產品概覽

在保持 FUD-1 Model-13 的優點（例如可維護性和高精度在線測量）的同時，該型號具有用于半導體制造過程的小單元型發射器。

圖表

FUD-1 Model-13　*以下為配置示例
單組份密度計（專用）

單組分密度計的特點

可實時測量濃度，易于構建濃度控制系統。

標配模擬 DC4 至 20mA 和數字 RS232C
標配測量誤差輸出和報警輸出
標配自診斷功能和錯誤信息顯示
小巧輕便的電池型變送器可直接安裝在線路上
接液部分材料采用PFA，小輸出設計對化學品無影響

優點

可以進行高精度的連續測量
免維護，無需定期調整或校準
安裝方便，安裝時無需進行各種調整
通過實時輸出輕松反饋過程

用法

CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度管理等。
稀釋過程中各種化學品的濃度管理（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等）
清洗過程中的清洗液濃度管理（HF、NH4OH、KOH、IPA等）
蝕刻過程中的蝕刻液濃度管理（HF、H2SO4等）

規格

格式		FUD-1 Model-13
測量參數		超聲波傳播速度/溫度
展示		LCD（濃度、溫度、聲速、各種參數）
輸出信號		模擬4～20mA DC（濃度值可自由設定）數字RS232C（濃度、溫度、聲速、錯誤代碼）報警上下限測量錯誤
電源		100V 至 240V AC 50/60Hz（也可使用 24V DC）
結構		面板安裝型（符合DIN標準）、面板安裝型（可選裝防雨外殼）
環境溫度		0 至 50°C RH85% 或更低（無結露） 0 至 100°C 特殊規格 -10 至 160°C（100°C 范圍）
功能		輸出量程設定、報警輸出設定、濃度顯示移動平均、濃度顯示偏置增益設定功能、自診斷功能、故障安全功能、異常值解除 RS485輸出（不能與RS232C同時輸出）
選項		溫度輸出（4 至 20mA DC）
渠道		多達 10 個通道
適用變送器		型號 13 : SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5