數字式質量流量控制器C2005

對應氣體Air\N2\Ar\He\h2

規格：

● 全尺寸流量:50SCCM

● 流量設定:本體顯示設定器?事件輸出切換、數字/RS485、模擬/0~5VDC/4.3~20mA

● 流量精度:±1%FS(精度保證范圍15~35°C)

● 響應時間:≤2sec

● 控制流量范圍:2~100%FS

● 流量輸出信號:本體顯示器7段LED數字/RS485、模擬/0~5VDC/4~20mA

● 閥門類型:NC(正常關閉)

● 再現性:±0.2%FS

● 耐壓力:1MPa

● 外部泄漏:1×10^-7Pa?m3/secHe

● 接氣部:SUS316、PTFE、氟橡膠

● 密封部材質:氟橡膠

● 標準連接接頭:1/4inSWL(等價品)

● 使用保證溫度:5~50°C

● 供給電源電壓/消耗電流:24VDC/mA以上

● 通信方式:數字/RS、VDC/500mA以上

● 通信方式:數字/RS485、模擬/485VDC/0~5mA

● 尺寸:4~20×10×-7mm