陶瓷吸附臺用于半導體工業CAT0507S

陶瓷吸附臺用于半導體工業CAT1012S

陶瓷吸附臺用于半導體工業CAT2023S

多孔陶瓷吸附臺用于半導體行業CAT2528S

多孔陶瓷吸附臺用于半導體行業CAT3033S

多孔陶瓷吸附臺用于半導體行業CAT0507R

微孔陶瓷吸附平臺適用于薄材料等的吸附CAT1012R

品牌：NABEYA ナベヤ

特點：

● 適用于生片、聚酰亞胺薄膜、輕軟材料、薄材料等的吸附。

● 氣孔徑55μm型比機械加工的孔徑小，被吸附物的變形量小。

● 氣孔徑2μm型可部分吸附，不覆蓋附著表面的正面，無需掩蔽。

● 氣孔徑2μm型可吸附剛性低的超薄(板厚數μm)的工件，不會變形。

規格：

● 材質:上表面/氧化鋁系陶瓷、底座/不銹鋼(SUS303)

● 平均氣孔率:30~35%

● ※使用時需另外使用真空泵。