日本 LINTEC琳得科 實現理想的膠帶剝離效果 RAD-3000F/8
日本 LINTEC琳得科 實現理想的膠帶剝離效果 RAD-3000F/81. 實現理想的膠帶剝離效果通過采用以180°的角度將BG表面保護膠帶從晶圓上剝離的剝離方法，可以最小化晶圓上的應力。2. 自動控制UV照度和光強通過內置傳感器反饋控制 UV 照度和光強度，即使使用 UV 固化 BG 表面保護膠帶，也可以實現穩定的膠帶剝離。
日本 LINTEC琳得科 實現理想的膠帶剝離效果 RAD-3000F/8
1. 實現理想的膠帶剝離效果
通過采用以180°的角度將BG表面保護膠帶從晶圓上剝離的剝離方法，可以最小化晶圓上的應力。
2. 自動控制UV照度和光強
通過內置傳感器反饋控制 UV 照度和光強度，即使使用 UV 固化 BG 表面保護膠帶，也可以實現穩定的膠帶剝離。