日本 LINTEC琳得科 紫外線照射裝置 RAD-2010F/12

1. 緊湊且高吞吐量

用于 300 毫米和 200 毫米晶圓的機器，配有集成裝載機和卸載機。一體型使機器尺寸變得緊湊，并通過兩條工作路徑實現高生產量。

2. 高品質、高性能

這是由UV固化切割膠帶領先公司開發的高性能機器。使用高輸出紫外線燈優化照度和光強度、檢查每個晶圓加工的光強度以及在防止氧抑制的環境中進行紫外線照射等功能*，使膠帶能夠充分發揮其潛力。

*為了消除抑制UV固化的氧氣，晶片室充滿氮氣并照射UV。

3. 操作舒適、安全

采用大觸摸屏，方便使用。根據 SEMI 安全準則，從設計和組裝階段就提高了機器操作和維護的安全性。

兼容CE標志

四。裝配過程自動化

通過主機通信功能和在線系統的結合，實現了全過程的FA（工廠自動化）。