YUTAKA宇高工程 壓力調節器兩級減壓結構 L88SS
YUTAKA宇高工程 壓力調節器兩級減壓結構 L88SSYUTAKA宇高工程 壓力調節器兩級減壓結構 L88SS產品特點L88系列是針對半導體生產氣體B2H6設計的產品，采用兩級減壓結構。作為抑制B2H6減壓生成產物的措施，中間壓力為3MPa，調節閥結構為平密封型，采用PCTF調節閥座來抑制缺陷。它也非常適合絕熱膨脹變化較大的 NF3。 規格入口壓力14.8MPa以下調節壓力最大0.99MPa（范
YUTAKA宇高工程 壓力調節器兩級減壓結構 L88SS
YUTAKA宇高工程 壓力調節器兩級減壓結構 L88SS
產品特點
L88系列是針對半導體生產氣體B2H6設計的產品，采用兩級減壓結構。作為抑制B2H6減壓生成產物的措施，中間壓力為3MPa，調節閥結構為平密封型，采用PCTF調節閥座來抑制缺陷。它也非常適合絕熱膨脹變化較大的 NF3。
規格
| 入口壓力 | 14.8MPa以下 |
| 調節壓力 | 最大0.99MPa （范圍規格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 氣源壓力波動 | 入口壓力：調節壓力每0.1MPa變化0.00075MPa |
| 承受壓力 | 22.2MPa（入口側） |
| Cv值 | 0.08 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa?m3/s?He（真空法） |
| 內部容積 | 12.58cm（不含3個壓力表及配件） |
| 重量 | 約2.4公斤 |
| 安裝方法 | 使用螺母安裝，可在正面和背面進行面板安裝 |