絕壓型真空調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu) L96SS 玉崎供應(yīng)YUTAKA絕壓型真空調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu) L96SS 玉崎供應(yīng)YUTAKA產(chǎn)品特點(diǎn)L96系列是專為半導(dǎo)體工藝制造氣體設(shè)計(jì)的具有真空調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。最適合低蒸氣壓氣體。基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格，是具有優(yōu)良的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。規(guī)格入口壓力0.99MPa以下調(diào)節(jié)壓力－0.1MPa～0～0.2MPa承受壓力22.2MPa（入口側(cè)）Cv值0.07工作溫度-1
絕壓型真空調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu) L96SS 玉崎供應(yīng)YUTAKA
絕壓型真空調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu) L96SS 玉崎供應(yīng)YUTAKA
產(chǎn)品特點(diǎn)
L96系列是專為半導(dǎo)體工藝制造氣體設(shè)計(jì)的具有真空調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。最適合低蒸氣壓氣體。基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格，是具有優(yōu)良的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。
規(guī)格
| 入口壓力 | 0.99MPa以下 |
| 調(diào)節(jié)壓力 | －0.1MPa～0～0.2MPa |
| 承受壓力 | 22.2MPa（入口側(cè)） |
| Cv值 | 0.07 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/s·He（真空法） |
| 內(nèi)部容積 | 5.739 cm（不含3個(gè)壓力表和配件） |
| 重量 | 約1.6公斤 |
| 安裝方法 | 背面用螺絲安裝（見外圖） |