絕壓型真空調節結構 L96SH 玉崎供應YUTAKA
絕壓型真空調節結構 L96SH 玉崎供應YUTAKA絕壓型真空調節結構 L96SH 玉崎供應YUTAKA產品特點L96系列是專為半導體工藝制造氣體設計的具有真空調節結構的產品。最適合低蒸氣壓氣體。基本結構為外部金屬密封和焊接接頭規格，是具有優良的外部泄漏和顆粒性能的產品。規格入口壓力0.99MPa以下調節壓力－0.1MPa～0～0.2MPa承受壓力22.2MPa（入口側）Cv值0.07工作溫度-1
絕壓型真空調節結構 L96SH 玉崎供應YUTAKA
絕壓型真空調節結構 L96SH 玉崎供應YUTAKA
產品特點
L96系列是專為半導體工藝制造氣體設計的具有真空調節結構的產品。最適合低蒸氣壓氣體。基本結構為外部金屬密封和焊接接頭規格，是具有優良的外部泄漏和顆粒性能的產品。
規格
| 入口壓力 | 0.99MPa以下 |
| 調節壓力 | －0.1MPa～0～0.2MPa |
| 承受壓力 | 22.2MPa（入口側） |
| Cv值 | 0.07 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/s·He（真空法） |
| 內部容積 | 5.739 cm（不含3個壓力表和配件） |
| 重量 | 約1.6公斤 |
| 安裝方法 | 背面用螺絲安裝（見外圖） |