低壓大流量加壓調整器緊湊型 L36SS YUTAKA宇高工程
低壓大流量加壓調整器緊湊型 L36SS YUTAKA宇高工程低壓大流量加壓調整器緊湊型 L36SS YUTAKA宇高工程產品特點L36系列專為低壓型半導體工藝制造氣體而設計，結構緊湊，但設計可提供最大流量。它具有出色的外部泄漏和顆粒性能，使其成為閥箱和連接裝置的理想選擇。 規格入口壓力2MPa以下調節壓力最大0.99MPa（范圍規格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.9
低壓大流量加壓調整器緊湊型 L36SS YUTAKA宇高工程
低壓大流量加壓調整器緊湊型 L36SS YUTAKA宇高工程
產品特點
L36系列專為低壓型半導體工藝制造氣體而設計，結構緊湊，但設計可提供最大流量。它具有出色的外部泄漏和顆粒性能，使其成為閥箱和連接裝置的理想選擇。
規格
| 入口壓力 | 2MPa以下 |
| 調節壓力 | 最大0.99MPa（范圍規格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 氣源壓力波動 | 入口壓力：調節壓力每0.1 MPa變化0.0075 MPa |
| 承受壓力 | 6MPa（入口側） |
| Cv值 | 1.1 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/sec·He（真空法） |
| 重量 | 約2公斤 |
| 安裝方法 | 使用后部螺釘安裝（前部安裝選項） |