低壓大流量加壓調(diào)整器緊湊型 L36SH YUTAKA宇高工程低壓大流量加壓調(diào)整器緊湊型 L36SH YUTAKA宇高工程產(chǎn)品特點(diǎn)L36系列專為低壓型半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，但設(shè)計(jì)可提供最大流量。它具有出色的外部泄漏和顆粒性能，使其成為閥箱和連接裝置的理想選擇。 規(guī)格入口壓力2MPa以下調(diào)節(jié)壓力最大0.99MPa（范圍規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.9
低壓大流量加壓調(diào)整器緊湊型 L36SH YUTAKA宇高工程
低壓大流量加壓調(diào)整器緊湊型 L36SH YUTAKA宇高工程
產(chǎn)品特點(diǎn)
L36系列專為低壓型半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，但設(shè)計(jì)可提供最大流量。它具有出色的外部泄漏和顆粒性能，使其成為閥箱和連接裝置的理想選擇。
規(guī)格
| 入口壓力 | 2MPa以下 |
| 調(diào)節(jié)壓力 | 最大0.99MPa（范圍規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 氣源壓力波動(dòng) | 入口壓力：調(diào)節(jié)壓力每0.1 MPa變化0.0075 MPa |
| 承受壓力 | 6MPa（入口側(cè)） |
| Cv值 | 1.1 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/sec·He（真空法） |
| 重量 | 約2公斤 |
| 安裝方法 | 使用后部螺釘安裝（前部安裝選項(xiàng)） |