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離子泵和惰性泵在磁場中產(chǎn)生冷陰極放電，將電離的氣體分子嵌入陰極，并在與陰極碰撞時濺射陰極材料（Ti），產(chǎn)生活性這是一種進(jìn)行抽真空的超高真空泵通過不斷地創(chuàng)造吸氣劑薄膜。
特征 目的 完全無油超高真空及超高真空排氣系統(tǒng) 電子顯微鏡、表面分析裝置 粒子加速器、聚變實(shí)驗(yàn)裝置、空間環(huán)境試驗(yàn)裝置 電子管等真空保持泵 規(guī)格 完全無油 超高真空、超超真空 無人操作 惰性氣體抽氣（惰性氣體泵）成分
特征
由于不使用油等有機(jī)物質(zhì)，因此可以獲得清潔的真空而不污染系統(tǒng)。
離子泵和惰性泵的工作壓力范圍為10 -1 Pa至10 -9 Pa，是產(chǎn)生超高真空的理想選擇。
只需用電，方便夜間無人操作和遠(yuǎn)程控制。
與雙極離子泵相比，惰性氣體的抽氣速度更高（氬氣約為空氣的 21%）20 L/s 離子泵/貴族泵
名稱 20 L/s
離子泵20 L/s
貴族泵型號名稱 912-7125 912-7120 抽速
（對于氮?dú)?/span>）20升/秒 工作范圍（注1） 10 -1至 10 -9 Pa 1 至10-9帕 啟動壓力（注1） 1.3Pa以下 6.7Pa以下 內(nèi)部容積 1.4升 最高加熱溫度 250℃ 進(jìn)口 φ70ICF 目前介紹終端 不可更換 元件（用于更換） 不可更換 磁鐵 912-7121（1 件）包含在主機(jī)中 大量的 10.5公斤 
30 L/s 離子泵/貴族泵
名稱 30 L/s
離子泵30 L/s
貴族泵型號名稱 912-7135 912-7130 抽速
（對于氮?dú)?/span>）30升/秒 工作范圍（注1） 10 -1至 10 -9 Pa 1 至10-9帕 啟動壓力（注1） 1.3Pa以下 6.7Pa以下 內(nèi)部容積 2.2升 最高加熱溫度 250℃ 進(jìn)口 φ114ICF 目前介紹終端 954-7281 元件（用于更換） 不可更換 磁鐵 912-7121（1 件）包含在主機(jī)中 大量的 12.5公斤 
60 L/s 離子泵/貴族泵
名稱 60L/S
離子泵60 L/s
貴族泵型號名稱 912-7165 912-7160 抽速
（對于氮?dú)?/span>）60升/秒 工作范圍（注1） 10 -1至 10 -9 Pa 1 至10-9帕 啟動壓力（注1） 1.3Pa以下 6.7Pa以下 內(nèi)部容積 6.2升 最高加熱溫度 250℃ 進(jìn)口 φ152ICF 目前介紹終端 954-7281 元件（用于更換） 915-7027（1對） 915-9527（1對） 磁鐵 912-7121（2 件）包含在主機(jī)中 大量的 25.6公斤 
110 L/s 貴族泵/140 L/s 離子泵
泵 名稱 110 L/s
貴族泵140 L/s
離子泵型號名稱 912-7020 912-7010 抽速
（對于氮?dú)?/span>）110升/秒 140升/秒 工作范圍（注1） 1 至10-9帕 10 -1至 10 -9 Pa 啟動壓力（注1） 6.7Pa以下 1.3Pa以下 內(nèi)部容積 18升 最高加熱溫度 250℃ 進(jìn)口 φ203ICF 目前介紹終端 954-7281 元件（用于更換） 915-9520（1件） 915-9510（1件） 磁鐵 912-7001（1 件）包含在主體中 大量的 48公斤 
220 L/s 貴族泵
名稱 220 L/s 貴族泵 型號名稱 912-7040 912-7041 抽速
（對于氮?dú)?/span>）220升/秒 工作范圍（注1） 5×10 -1 ~ 10 -9帕 啟動壓力（注1） 3.4Pa以下 內(nèi)部容積 26升 28升 最高加熱溫度 250℃ 進(jìn)口 φ203ICF 目前介紹終端 954-7281 元件（用于更換） 915-9510（2件） 磁鐵 912-7002（1 件）
包含在主體中912-7001（2 件）
包含在主體中大量的 85公斤 90公斤 
270升/秒離子泵
名稱 220 L/s 貴族泵 型號名稱 912-7040 912-7041 抽速
（對于氮?dú)?/span>）220升/秒 工作范圍（注1） 5×10 -1 ~ 10 -9帕 啟動壓力（注1） 3.4Pa以下 內(nèi)部容積 26升 28升 最高加熱溫度 250℃ 進(jìn)口 φ203ICF 目前介紹終端 954-7281 元件（用于更換） 915-9510（2件） 磁鐵 912-7002（1 件）
包含在主體中912-7001（2 件）
包含在主體中大量的 85公斤 90公斤 
400 L/s 貴族泵/500 L/s 離子泵
名稱 400 L/s
貴族泵500L/S
離子泵型號名稱 912-7060 912-7050 抽速
（對于氮?dú)?/span>）400升/秒 500升/秒 工作范圍（注1） 1 至10-9帕 10 -1至 10 -9 Pa 啟動壓力（注1） 6.7Pa以下 1.3Pa以下 內(nèi)部容積 38升 最高加熱溫度 250℃ 進(jìn)口 φ203ICF 目前介紹終端 954-7281 元件（用于更換） 915-9520（4件） 915-9510（4件） 磁鐵 912-7002（2 件）包含在主體中 大量的 120公斤 
800 L/s 貴族泵/1000 L/s 離子泵
名稱 800 L/s
貴族泵1000 L/s
離子泵型號名稱 912-9110 912-7190 912-9100 912-7195 抽速
（對于氮?dú)?/span>）800升/秒 1000升/秒 工作范圍（注1） 10 -2至 10 -9 Pa 10 -3至 10 -9 Pa 啟動壓力（注1） 1.3×10 -1 Pa以下 1.3×10 -2 Pa以下 內(nèi)部容積 106升 最高加熱溫度 250℃ 進(jìn)口 φ326CS
法蘭φ356ICF φ326CS
法蘭φ356ICF 目前介紹終端 954-7281 元件（用于更換） 912-9520（8件） 915-9510（8件） 磁鐵 912-7003（2 件）包含在主機(jī)中 大量的 257公斤 名稱 20L/S
離子泵20 L/s
貴族泵型號名稱 912-7125 912-7120 抽速
（對于氮?dú)?/span>）20升/秒 工作范圍（注1） 10 -1至 10 -9 Pa 1 至10-9帕 啟動壓力（注1） 1.3Pa以下 6.7Pa以下 內(nèi)部容積 1.4升 最高加熱溫度 250℃ 進(jìn)口 φ70ICF 目前介紹終端 不可更換 元件（用于更換） 不可更換 磁鐵 912-7121（1 件）包含在主機(jī)中 大量的 10.5公斤
912-7040日本原裝CANON-ANELVA佳能真空泵離子泵