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離子泵和惰性泵在磁場中產生冷陰極放電，將電離的氣體分子嵌入陰極，并在與陰極碰撞時濺射陰極材料（Ti），產生活性這是一種進行抽真空的超高真空泵通過不斷地創造吸氣劑薄膜。
特征 目的 完全無油超高真空及超高真空排氣系統 電子顯微鏡、表面分析裝置 粒子加速器、聚變實驗裝置、空間環境試驗裝置 電子管等真空保持泵 規格 完全無油 超高真空、超超真空 無人操作 惰性氣體抽氣（惰性氣體泵）成分
特征
由于不使用油等有機物質，因此可以獲得清潔的真空而不污染系統。
離子泵和惰性泵的工作壓力范圍為10 -1 Pa至10 -9 Pa，是產生超高真空的理想選擇。
只需用電，方便夜間無人操作和遠程控制。
與雙極離子泵相比，惰性氣體的抽氣速度更高（氬氣約為空氣的 21%）20 L/s 離子泵/貴族泵
名稱 20 L/s
離子泵20 L/s
貴族泵型號名稱 912-7125 912-7120 抽速
（對于氮氣）20升/秒 工作范圍（注1） 10 -1至 10 -9 Pa 1 至10-9帕 啟動壓力（注1） 1.3Pa以下 6.7Pa以下 內部容積 1.4升 最高加熱溫度 250℃ 進口 φ70ICF 目前介紹終端 不可更換 元件（用于更換） 不可更換 磁鐵 912-7121（1 件）包含在主機中 大量的 10.5公斤 
30 L/s 離子泵/貴族泵
名稱 30 L/s
離子泵30 L/s
貴族泵型號名稱 912-7135 912-7130 抽速
（對于氮氣）30升/秒 工作范圍（注1） 10 -1至 10 -9 Pa 1 至10-9帕 啟動壓力（注1） 1.3Pa以下 6.7Pa以下 內部容積 2.2升 最高加熱溫度 250℃ 進口 φ114ICF 目前介紹終端 954-7281 元件（用于更換） 不可更換 磁鐵 912-7121（1 件）包含在主機中 大量的 12.5公斤 
60 L/s 離子泵/貴族泵
名稱 60L/S
離子泵60 L/s
貴族泵型號名稱 912-7165 912-7160 抽速
（對于氮氣）60升/秒 工作范圍（注1） 10 -1至 10 -9 Pa 1 至10-9帕 啟動壓力（注1） 1.3Pa以下 6.7Pa以下 內部容積 6.2升 最高加熱溫度 250℃ 進口 φ152ICF 目前介紹終端 954-7281 元件（用于更換） 915-7027（1對） 915-9527（1對） 磁鐵 912-7121（2 件）包含在主機中 大量的 25.6公斤 
110 L/s 貴族泵/140 L/s 離子泵
泵 名稱 110 L/s
貴族泵140 L/s
離子泵型號名稱 912-7020 912-7010 抽速
（對于氮氣）110升/秒 140升/秒 工作范圍（注1） 1 至10-9帕 10 -1至 10 -9 Pa 啟動壓力（注1） 6.7Pa以下 1.3Pa以下 內部容積 18升 最高加熱溫度 250℃ 進口 φ203ICF 目前介紹終端 954-7281 元件（用于更換） 915-9520（1件） 915-9510（1件） 磁鐵 912-7001（1 件）包含在主體中 大量的 48公斤 
220 L/s 貴族泵
名稱 220 L/s 貴族泵 型號名稱 912-7040 912-7041 抽速
（對于氮氣）220升/秒 工作范圍（注1） 5×10 -1 ~ 10 -9帕 啟動壓力（注1） 3.4Pa以下 內部容積 26升 28升 最高加熱溫度 250℃ 進口 φ203ICF 目前介紹終端 954-7281 元件（用于更換） 915-9510（2件） 磁鐵 912-7002（1 件）
包含在主體中912-7001（2 件）
包含在主體中大量的 85公斤 90公斤 
270升/秒離子泵
名稱 220 L/s 貴族泵 型號名稱 912-7040 912-7041 抽速
（對于氮氣）220升/秒 工作范圍（注1） 5×10 -1 ~ 10 -9帕 啟動壓力（注1） 3.4Pa以下 內部容積 26升 28升 最高加熱溫度 250℃ 進口 φ203ICF 目前介紹終端 954-7281 元件（用于更換） 915-9510（2件） 磁鐵 912-7002（1 件）
包含在主體中912-7001（2 件）
包含在主體中大量的 85公斤 90公斤 
400 L/s 貴族泵/500 L/s 離子泵
名稱 400 L/s
貴族泵500L/S
離子泵型號名稱 912-7060 912-7050 抽速
（對于氮氣）400升/秒 500升/秒 工作范圍（注1） 1 至10-9帕 10 -1至 10 -9 Pa 啟動壓力（注1） 6.7Pa以下 1.3Pa以下 內部容積 38升 最高加熱溫度 250℃ 進口 φ203ICF 目前介紹終端 954-7281 元件（用于更換） 915-9520（4件） 915-9510（4件） 磁鐵 912-7002（2 件）包含在主體中 大量的 120公斤 
800 L/s 貴族泵/1000 L/s 離子泵
名稱 800 L/s
貴族泵1000 L/s
離子泵型號名稱 912-9110 912-7190 912-9100 912-7195 抽速
（對于氮氣）800升/秒 1000升/秒 工作范圍（注1） 10 -2至 10 -9 Pa 10 -3至 10 -9 Pa 啟動壓力（注1） 1.3×10 -1 Pa以下 1.3×10 -2 Pa以下 內部容積 106升 最高加熱溫度 250℃ 進口 φ326CS
法蘭φ356ICF φ326CS
法蘭φ356ICF 目前介紹終端 954-7281 元件（用于更換） 912-9520（8件） 915-9510（8件） 磁鐵 912-7003（2 件）包含在主機中 大量的 257公斤 名稱 20L/S
離子泵20 L/s
貴族泵型號名稱 912-7125 912-7120 抽速
（對于氮氣）20升/秒 工作范圍（注1） 10 -1至 10 -9 Pa 1 至10-9帕 啟動壓力（注1） 1.3Pa以下 6.7Pa以下 內部容積 1.4升 最高加熱溫度 250℃ 進口 φ70ICF 目前介紹終端 不可更換 元件（用于更換） 不可更換 磁鐵 912-7121（1 件）包含在主機中 大量的 10.5公斤
912-7040日本原裝CANON-ANELVA佳能真空泵離子泵