玉崎供應(yīng)-TAISEI大成技研 組合型氣態(tài)除粉裝置TU-3100/J

玉崎供應(yīng)-TAISEI大成技研 TU-1500/J組合型氣態(tài)除粉裝置玉崎供應(yīng)-TAISEI大成技研 組合型氣態(tài)除粉裝置TU-3100/JTRAPPACK（組合型）TRAPACK的進(jìn)一步進(jìn)化，配備組合型元件（渦流型+元件型）的氣態(tài)除粉裝置。外觀結(jié)構(gòu)特征去除細(xì)小反應(yīng)產(chǎn)物（細(xì)粉）單元密度低，網(wǎng)格空隙大粉末在螺旋和元件部分分層。?主要用途 / CVD、蝕刻 ?一次元件 / 渦流元件?二次元件 / Trap