TORAY氧氣分析儀MS-500，用于半導體/液晶/電子元件 東麗
TORAY氧氣分析儀MS-500，用于半導體/液晶/電子元件 東麗氧氣濃度計MS-500MS-500最多可同時測量 8 個點可顯示從 ppm 級到 100% 的多種濃度。適合安裝在半導體制造設備、真空設備等上。直插式傳感器（真空NW法蘭16/25/40）高耐用傳感器采用特殊涂層，進一步提高耐用性MS-500設備規格測量原理氧化鋯濃差電池類型形狀分體式（傳感器：壁掛式、傳感器：直插式）顯示方式數字4
TORAY氧氣分析儀MS-500，用于半導體/液晶/電子元件 東麗
氧氣濃度計MS-500
MS-500
最多可同時測量 8 個點
可顯示從 ppm 級到 100% 的多種濃度。
適合安裝在半導體制造設備、真空設備等上。
直插式傳感器（真空NW法蘭16/25/40）
高耐用傳感器采用特殊涂層，進一步提高耐用性
MS-500設備規格
| 測量原理 | 氧化鋯濃差電池類型 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 分體式（傳感器：壁掛式、傳感器：直插式） | ||
| 顯示方式 | 數字4位顯示（濃度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O 2 10 -20 ~10 -0 atm 自動量程 | ||
| 重復性 | ±0.5%FS 0-1% 量程或更高 ，以及 ±1%FS 或 ±0.1ppm（以較大者為準） 小于 0-1% 量程 0-1ppm，atm 范圍超出保證濃度范圍 | ||
| 測量點數 | 1-8 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 10 -3 ~200KPa（絕壓） | |
| 流量 | 0.5至5,000mL/min或0mL/min（自然擴散狀態的測量） | ||
| 濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
| 溫度 | 0～100℃ | ||
| 其他的 | 不含腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫化物氣體等）、含有機硅的氣體、可燃性成分（包括瓦斯）、油類、水分。 | ||
| 比較氣體 | 氣氛 | ||
| 錄音機輸出 | 僅傳輸輸出 | ||
| 變速輸出 | RS-232C | ||
| 報警輸出 | 沒有任何 | ||
| 熱身時間 | 6分鐘內 | ||
| 尺寸 | MS-500（控制器） | 92（寬）×44（高）×120（深）（不含突出部分） | |
| MS-510（轉換器） | 100（寬）×40（高）×88（深）（不含突出部分） | ||
| 傳感器單元 | SD16NW | 總長100mm（傳感部分Φ11×39、本體部分Φ40×51） | |
| SD25NW | 總長100mm（傳感部分Φ11×42、本體部分Φ40×48） | ||
| SD40NW | 總長100mm（傳感部分Φ11×41、本體部分Φ40×49） | ||